语言选择：
∷
∷
MDA-400LJ
操作安装方便，可处理各种尺寸的基板，采用UV-LED曝光模块，UV-LED寿命长
?手动操作
?掩模版尺寸达5英寸
?基板尺寸为4英寸圆形
?均匀性光束尺寸125mm圆
?UV光源UV LED
?光束波长365 nm
?光束均匀性<±3%
?365 nm强度 ~20 mW/?
?手动对准
?对准精度1 um
?操作模式软、硬、真空接触和接近
?工艺分辨率：1 um@1 um PR厚度，真空接触
?尺寸（mm）800（宽）*800（深）*800（高）
MDA-600LJ
操作安装方便，可处理各种尺寸的基板，采用UV-LED曝光模块，UV-LED寿命长
?手动操作
?掩模版尺寸高达7英寸
?基板尺寸为6英寸圆形
?均匀光束尺寸170 mm圆
?UV光源：UV LED
?光束波长365 nm
?光束均匀性<±5%
?365 nm强度 ~20 mW/?
?手动对准
?对准精度1 um
?操作模式：软、硬、真空接触和接近
?工艺分辨率 1 um@1 um PR厚度，真空接触
?重量（kg）150
?尺寸（mm）800（宽）*800（深）*800（高）
联系人：张垚
手机：13916855175
电话：021-56035615
邮箱：info@crosstech.com.cn
地址： 上海市杨浦区松花江路251弄白玉兰环保广场3号902室
